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威固特VGT-1209FH涂布濾光片超聲波清洗機
發布時間:2025-07-30 17:18:56閱讀:(64)

一、威固特VGT-1209FH超聲波清洗機清洗涂布濾光片的優勢及適用雜質:

該機型專為精密光學元件(如濾光片)設計,在清洗涂布濾光片時具有如下突出優勢:

1、高頻超聲波(120KHZ)精準清洗:

高頻空化效應更溫和,適合硬質涂層濾光片(如SiO?/TiO?多層膜),避免低頻(40KHz)的機械沖擊風險。

可有效清除亞微米級顆粒(0.1-1μm),減少表面劃傷。

2、智能恒溫控制系統(20-60℃可調):

避免清洗液溫度波動導致濾光片熱應力損傷(如膠合層開膠)。

高溫(40-50℃)可提升對油脂類污染物的清洗效率。

3、多段式掃頻技術:

自動切換頻率(±5KHz波動),防止駐波效應造成的清洗不均勻。

特別適合大尺寸濾光片(如直徑>50mm)的全覆蓋清洗。

4、定制化夾具與清洗籃:

濾光片可傾斜固定,避免邊緣因超聲波聚焦導致涂層剝落。

尼龍鍍膜籃筐減少碰撞摩擦,保護增透膜。

適用的清洗雜質類型:

1、顆粒污染物:

拋光粉殘留(二氧化鈰、三氧化二鋁顆粒,粒徑0.5-5μm)。

環境粉塵(硅基顆粒、碳纖維碎屑)。

靜電吸附顆粒(金屬粉塵、PVD鍍膜飛濺物)。

2、有機污染物:

指紋與皮脂(主要成分為甘油三酯、脂肪酸)。

切削液/防銹油(礦物油、合成酯類)。

膠帶殘膠(丙烯酸膠、硅膠)。

3、無機污染物:

輕微氧化層(如金屬膜濾光片表面的自然氧化鋁)。

工藝殘留鹽類(如鍍膜前的清洗劑殘留鈉離子/鉀離子)。

二、威固特VGT-1209FH超聲波清洗機核心結構組成與功能:

清洗槽:

設計特點:

1、316L不銹鋼材質。

2、斜面底部設計+泄流閥。

對涂布濾光片清洗的增益:防止顆粒沉積,便于排出納米級污染物,斜面減少聲波反射。

恒溫系統:

設計特點:

1、PID控溫(20-60℃±1℃)。

2、外接冷卻循環水接口。

對涂布濾光片清洗的增益:防止溫度驟變導致涂布濾光片熱應力裂紋。

過濾循環:

設計特點:5μm精密過濾器+磁力泵循環。

對涂布濾光片清洗的增益:實時去除剝離的顆粒污染物,防止二次吸附。

控制系統:

設計特點:

1、觸摸屏編制(可存儲10組參數)。

2、過載保護/缺液報警。

對涂布濾光片清洗的增益:一鍵調用不同濾光片清洗方案。

三、威固特VGT-1209FH超聲波清洗機針對各類濾光片清洗的特殊結構優化:

1、聲場均勻性設計:

底部多振子布局:6組壓電陶瓷換能器呈蜂窩狀排列,確保槽內聲強偏差<15%(行業標準通常>30%)。

應用場景:大尺寸濾光片(如8英寸晶圓級濾光片)全覆蓋清洗。

2、防碰撞保護機制:

懸浮式籃筐:尼龍網籃通過彈簧懸掛,減少濾光片與槽壁碰撞風險。

案例適配:脆性濾光片(如氟化鎂涂層)的批量化清洗。

3、雜質隔離系統;

雙層排水結構:粗顆粒沉降至下層隔離倉,納米顆粒通過側壁過濾器截留。

數據支持:實則可減少90%以上的污染物回附(對比傳統單層槽體)。



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